一、環(huán)境控制系統(tǒng)

1. 空氣凈化體系

• 采用FFU+HEPA三級過濾系統(tǒng)（初效G4+中效F8+高效H13）

• 潔凈等級需達(dá)到ISO Class 3-5級（每立方米0.1μm顆粒≤1000個）

• 保持5-10Pa正壓差梯度

2. 溫濕度控制

• 溫度22±1℃，濕度45%±5%RH

• 專用恒溫恒濕機(jī)組需配備備用系統(tǒng)

• 循環(huán)風(fēng)量保證每小時換氣次數(shù)≥50次

二、建筑裝修規(guī)范

1. 圍護(hù)結(jié)構(gòu)

• 雙層彩鋼板夾芯墻體（厚度≥50mm）

• 圓弧角處理（R≥50mm）避免積塵

• 防靜電環(huán)氧樹脂自流平地面（電阻值10^6-10^9Ω）

2. 特殊要求

• 所有穿墻管線必須密封處理

• 門禁互鎖系統(tǒng)（緩沖間壓力平衡）

• 黃光區(qū)特殊照明（波長590nm）

三、機(jī)電系統(tǒng)配置

1. 電力保障

• 雙路供電+UPS不間斷電源

• 獨立接地系統(tǒng)（接地電阻≤1Ω）

• 防爆電氣設(shè)備（Ex dⅡCT6等級）

2. 氣體管理

• 大宗氣體管道采用EP級不銹鋼管

• VMB氣體分配系統(tǒng)

• 尾氣處理SCR裝置

四、驗收標(biāo)準(zhǔn)

項目標(biāo)準(zhǔn)值檢測方法粒子濃度≤3520顆/m³(0.5μm)ISO 14644-1噪音水平≤65dB(A)GB 50073照度500-750luxJGJ 71

建議施工前進(jìn)行CFD氣流模擬，裝修完成后需進(jìn)行72小時連續(xù)測試驗證。